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| DPUとは、Defect per Unitの略で、サンプルとなったユニット<総数>と、そこで確認された欠陥数から算出されます。ここで言う欠陥数とは、欠陥<品>の数ではありません。例えば、100ユニットの中で、2つのユニットに欠陥があり、その2つのユニットにはそれぞれ50個ずつ欠陥があった場合は、不良率は2欠陥／100ユニット=0.05(5％)ですが、DPUは100欠陥／100ユニット＝1.0(100％)となります。不良率、歩留まり率、DPUを計測することでプロセス・パフォーマンスの良し悪しと欠陥の発生具合を知ることができます。 |
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